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我公司設(shè)計制造的SV系列PVD多弧離子鍍膜機(jī)主要由以下部分組成：
1.真空筒體：采用全不銹鋼制造，雙層水冷結(jié)構(gòu)
2.抽氣機(jī)組：采用旋片泵＋羅茨泵＋擴(kuò)散泵組合的高效率真空機(jī)組
3.轉(zhuǎn)架系統(tǒng)：采用不銹鋼轉(zhuǎn)架，自轉(zhuǎn)與公轉(zhuǎn)相結(jié)合的行星運(yùn)轉(zhuǎn)方式
4.水冷系統(tǒng)：采用全水套的水冷方式，冷卻效率高
5.電源系統(tǒng)：設(shè)計先進(jìn)，性能穩(wěn)定可靠
6.進(jìn)氣系統(tǒng)：采用優(yōu)質(zhì)質(zhì)量流量計結(jié)合自主研發(fā)的控制系統(tǒng)，確保進(jìn)氣量穩(wěn)定準(zhǔn)確
7.控制系統(tǒng)：設(shè)計結(jié)構(gòu)先進(jìn)，有手動控制和自動控制兩種方式
8.弧離子源：設(shè)計獨(dú)特，高離化率。