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Parylene能在0.2微米厚時就完全沒有針孔，5微米厚就能耐1000V以上直流擊穿電壓，同時又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學惰性和阻隔性能優(yōu)異。
因此，在微電子機械系統(tǒng)中，Parylene除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護材料。
Parylene是六十年代中期美國Union Carbide Co.
開發(fā)應用的一種新型敷形涂層材料，它是一種對二甲苯的聚合物，根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同，Parylene可分為N型、C型、D型、HT型等多種類型。
Parylene用獨特的真空氣相沉積工藝制備，由活性小分子在基材表面“生長”出完全敷形的聚合物薄膜涂層，具有其他涂層難以比擬的性能優(yōu)勢。它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊，裂縫里和內(nèi)表面。
這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無針孔、透明無應力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護性，是當代最有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。
Parylene是獨特的聚對二甲苯材料系列的統(tǒng)稱，屬于一種具有完全線形、高度結(jié)晶的高聚物。
N型Parylene是對二甲苯的高聚物,在各類Parylene中具有最強的滲透能力，能夠有效地在各種細縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數(shù)極低(2.65)及耗散因子小，且隨外界頻率的增加變化不大；同時具有最佳的潤滑效果，主要用于橡膠、光學領(lǐng)域。
在對二甲苯鏈的側(cè)環(huán)上添加一個氯原子，就得到了C型Parylene。C型Parylene具有非常低的水分子和腐蝕性氣體的透過率，沉積生長速率也比N型快得多，相應的滲透能力也差于N型；是目前應用最廣，防護效果最好的Parylene。
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