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Parylene能在0.2μm厚時(shí)無針孔,5μm厚時(shí)耐1000V以上直流擊穿電壓,同時(shí)又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料,化學(xué)惰性和阻隔性能優(yōu)異。因此,在微電子機(jī)械系統(tǒng)中,Parylene除了作電介質(zhì)材料外,還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。-Parylene應(yīng)用:目前,從普通領(lǐng)域到不為人知的領(lǐng)域,Parylene都有應(yīng)用,其所涵蓋的應(yīng)用市場(chǎng)從太空深處的飛行器、汽車發(fā)動(dòng)機(jī)一直到心臟調(diào)搏器、軍事電子產(chǎn)品等?梢灶A(yù)見,得益于自動(dòng)化沉積設(shè)備的出現(xiàn),不同技術(shù)領(lǐng)域?qū)@種聚合物的日益熟悉,以及涂敷效率的不斷改進(jìn)等等,Parylene的應(yīng)用廣度將進(jìn)一步得到拓寬。
以下是目前幾種有代表性的應(yīng)用:
電子傳感器:
通過使用Parylene涂層,人們無需在精細(xì)的傳感器表面進(jìn)行物理性加載就可達(dá)到環(huán)保要求.測(cè)量器件。多用途遙控測(cè)量電路的消耗據(jù)報(bào)告稱正在不斷增加,這些電路必須確保能在要求的環(huán)境條件下運(yùn)轉(zhuǎn),而Parylene涂層能對(duì)潮濕、溶劑和其他污染物的侵蝕起到長效保護(hù)作用。
航天應(yīng)用:
利用Palylene的一些獨(dú)特性質(zhì)實(shí)現(xiàn)空間強(qiáng)化,防止由于極端溫度變化導(dǎo)致的濃縮,限制氣體排出等。
軍事電子應(yīng)用。
在航空通訊和航海設(shè)備的電路上應(yīng)用Palylene涂層電路,可以滿足與宇航應(yīng)用情形相類似的要求。電子門禁系統(tǒng)。為了保護(hù)旅館的安全而安裝的電子門禁系統(tǒng)的電路就可以應(yīng)用Palylene膜,從而免受冷凝與腐蝕作用的破壞,這一點(diǎn)在沿海地區(qū)尤為s重要。
醫(yī)療設(shè)備:
在應(yīng)用于外科手術(shù)的醫(yī)療設(shè)備上有選擇性地涂敷Parylene,可以提高設(shè)備的光滑度及可選擇的電絕緣性。這種涂層也能起到保護(hù)和潤滑皮下注射用針頭的作用,還可以在可移植的器件和修復(fù)手術(shù)用部件的表層產(chǎn)生一種非排斥性生物屏障。
硅鍵盤:
許多系統(tǒng)都采用硅膠鍵盤輸入數(shù)據(jù),Palylene涂層經(jīng)常被涂覆于硅膠鍵盤的表面,用來保護(hù)鍵盤上的印刻數(shù)字和圖形免受手指上的油脂或其他東西的污染。
鐵氧體磁芯:
在鐵氧體磁芯表層涂敷Parylene是出于以下目的:這種涂層可以為磁芯提供電介質(zhì)的絕緣,避免電損耗,而對(duì)實(shí)際體積的大小不會(huì)有實(shí)質(zhì)性改變;它還可以通過去除灰塵和污染來加固鐵氧體和模壓金屬部件的表面。
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